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研究方向
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二、敏感薄膜材料与物理效应研究

2017/9/25 14:57:54人浏览

主要研究不同制备方法和不同制备工艺对压力敏感纳米合金薄膜、高TCR金属热敏电阻薄膜和ZnO、GaN等半导体薄膜敏感材料性能的影响,寻找各种敏感薄膜的最佳制备方法和工艺,制备出高敏感特性的薄膜材料。